規格概要
| 手臂數 |
2（正面*2） |
| 可安裝探針 |
1172系列，CP1072系列 |
| 測試步數 |
999999步 |
| 測量參數和測量範圍 |
電阻測量 |
40.00 μΩ ~ 40.00 MΩ |
| 絕緣電阻測量 |
1.000 kΩ ~ 500.0 MΩ |
| 電容測量 |
100.0 fF ~ 10.00 μF |
| 漏電流測量 |
1.000 μA ~ 10.00 mA |
| 高壓電阻測量 |
1.000 kΩ ~ 500.0 MΩ |
| 電容絕緣電阻 |
1.000 kΩ ~ 10.00 MΩ |
| 開路測量 |
4.000 Ω ~ 4.000 MΩ |
| 短路測量 |
400.0 mΩ ~ 40.00 kΩ |
| 判定範圍 |
−99.9% ~ ＋999.9%, 或絕對值 |
| 綜合定位精度 |
20μm (注: 根據檢查條件有所限制) |
| 測點最小間距 |
50μm (使用探針CP1072-01時, L-R手臂間距) |
| 測量時間 |
Max. 100步/秒 (0.1mmX-Y移動，2手臂同時探測，電容測試) |
| 可測試基板尺寸 |
50(W) × 50(H) ~ 610(W) × 510(H)mm, 厚度 0.1mm~ 3.2mm |
| 最大可測區域 |
610mm(W)× 510mm(H) |
| 基板固定 |
水準放置，真空吸附 |
| 電源 |
AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V單相 (訂購時指定) 50/60 Hz, 最大功耗：3 kVA |
| 體積及重量 |
1303(W) × 1194(H) × 1167(D)mm±10mm (突出部分除外) 900 kg±50kg |
※除了連接電能品質分析儀，還可作為電流感測器和HIOKI的鉗式功率計和電壓輸入的記錄儀一同使用。
