能夠高速且柔軟的檢查用於半導體檢查中燒機的系統

老化測試機不可或缺的老化測試板

在半導體的製造工序中，有燒機檢查作為最終工序。目的是藉由對完成的半導體施加溫度和電壓負載，來事先發現初期不良。其使用的便是被稱為老化測試機的一種放置半導體的台座。

為了給這塊板上的半導體提供電氣訊號，IC測試座以網格圖案安裝在PC板上，電路由電阻、線圈和電容器等被動元件和電晶體、二極體等主動元件所組成。將多張這樣的板子組裝進老化測試機內，在設備內施加溫度負載來進行檢查。

由於老化測試板本身如果有不完全的地方便無法正常進行檢查，因此必須對板子單獨進行檢查。
本文將介紹為了確保老化測試板的品質，可高速且確實進行檢查的系統。

老化測試板檢查的課題

現在是由作業人員1個1個將連接測試頭插入IC座來進行檢查。由於測試頭未被固定，根據作業人員的動作，接觸狀態會有所改變，容易變成重複好幾次檢查這類效率不佳的檢查工程。作業人員必須盡力減少檢查時動作改變。單個IC座的檢查時間越長，該影響便會越顯著，成為作業人員的負擔。
以下將課題進行統整，如下：

• 投入產生率不佳，需耗費許多時間在檢查上
• 人為因素導致未檢查，遺漏不良品
• 個體作業導致的檢查結果參差不齊
• 長時間作業對作業人員造成的負擔

實現高速檢查和優秀的操作性

電路開關（掃描儀）和測量儀器都內置在一個輕巧機身中，並根據電腦軟體創建的檢查順序進行操作。可以透過搭載的I/O板(選件)和外部驅動裝置連動，也支援組裝進自動設備。

• 透過操作腳踏開關輕鬆檢查啟動/停止/阻擋移動
• 可執行最多1,024pin的測量
• 透過地圖顯示檢查結果（最大32ｘ32），可識別未檢查、不良點
• 具有自診斷功能，出現問題時禁止後續檢查的保護功能
• 搭載若在檢查中發生FAIL，禁止後續的檢查之功能
• 可延續使用目前的IC座連接測試頭（必須進行連接器加工）

半導體越發活躍於IoT或AI等新IT技術。可想見，今後關於兼顧品質提升和縮短檢查停機時間的生產現場課題也會增加。電性測試機FA1220 具備了對應這些現場課題的潛力。

可組裝進設備的功能・概念

電性測試機 FA1220 雖然尺寸小巧，但可增設掃描器最多至1024pin。此外，透過I/O板，除了從外部開始進行檢查的控制之外，也能輸出判斷結果。
具備了能組裝進客戶設備的功能和參數。

 

記載內容為2020年9月的資訊。產品參數可能會有更改，請以現在發行的為準。

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