飛針測試機　FA1116 是採用了電容測量方式的高速基板檢查裝置，和導通檢查方式相比，能夠
大幅減少檢查步數、縮短檢查時間。

實現了最高 100 次 / 秒的超高速檢查速度，利用電容測量解析度5aF※1 的高解析度，即便是微小的變化也可確實檢測出來。除了是無夾具型，營運成本非常便宜之外，還備有能將針痕抑制到最小限度的高速軟著陸功能。此外，並無基板材質所導致的限制，塑膠、陶瓷、液晶玻璃基板的檢查也沒問題。

※1：5aF＝5×10^-18F

■產線導入案例

• 被檢查的基板的固定，採用的是在般送或檢查時不會夾住基板的真空吸附方式，難以支撐的柔性基板（FPC）（薄膜基板）、液晶玻璃基板等（※可檢測基板厚度：0.1mm～3.2mm）可以無應力、無死角地進行檢測。
• 測量兼真空固定的下部電極和探針之間的阻抗和相位，根據RC系列型號計算電阻值，檢測斷線、短路、圖樣寬度異常、膜厚異常等。

• 4 端子低電阻測量（標準）、Active檢查（選件）
  藉由４端子低電阻測量功能來支援金屬佈線的可靠性檢查、透過絕緣測量功能來對應圖樣／層間絕緣・洩漏電流的測量
• 其他導入案例
  柔性基板（FPC）、薄膜基板、液晶玻璃基板檢查、LCD基板

使用設備

• 飛針測試機 FA1116

記載內容為2018年8月的資訊。產品參數可能會有更改，請以現在發行的為準。

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