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飛針測試機 FA1815-20

飛針測試機

高效率與信賴性提升將電路板生產提升到下個等級

  • 最快100 points/sec的高速檢查與取樣精度提升
  • 對被測物負擔減輕的10 V/100 GΩ低電壓絕緣電阻測量
  • 最適合探針板用電路板檢查

飛針測試機FA1815-20 產品介紹

FA1815-20是一款用於檢測高密度基板,適用於最先進的IT技術的飛行探針測試儀。它具有最快每秒100個點的檢測速度,高精度的探針位置,以及能夠在10V電壓下檢測100GΩ的高絕緣電阻。該測試儀配備了探針卡等高密度基板的檢測,可縮短檢測時間並排除潛在缺陷,實現高品質,為半導體行業的生產效率提升做出貢獻。

檢查時間縮短30%

採用可縮短探測精度與檢查時間的新式檢查順序計算方法,與過往機種縮短30%檢查時間。

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實現高信賴性的探測精度

電路板的高密度化正在進行中,需要確保更緊密的接觸間距。FA1815-20通過反饋控制的改進和剛性的重新設計,實現了更高的探針精度。

CP1072-36開爾文探針使用時(TOP面)
 最小間距:85 μm
 最小Pad:55 μm

CP1075-09單探針使用時(TOP面)
 最小間距:34 μm
 最小Pad:4 μm

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10 V 最大100GΩ的絕緣檢查

搭載新開發的微小電流檢測技術"PHA"。與舊型號相比,可以更快地檢測到微小電流,並且可以以最小100 pA(10 V / 100 GΩ)的高精度進行檢測。即使在需要高密度探針卡的最先進的半導體晶圓檢查中,也可以輕鬆檢測高絕緣電阻,而不會受到任何壓力。

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最適合探針板用電路板檢查

最多可進行400萬步的檢查數據,即使在大型微細加工電路板上,也不需要進行設置或數據切換。同時,通過將Y軸方向的最大檢查範圍設定為與X軸方向相同的340毫米,可以靈活應對接近圓形的多邊形大型電路板,並提供高精度的檢查。

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FA1815-20

規格參數

手臂數 4 (上面 ×2, 下面 ×2)
可安裝探針 1172系列, CP1072系列,CP1073系列
檢查步驟數量 4,000,000步進

檢查項目・測量範圍

(零件內藏電路板檢查)

直流額定電流導通測量: 400.0 μΩ 〜1.000 kΩ
直流額定電流電阻測量: 40.00 μΩ 〜400.0 kΩ
直流額定電壓電阻測量: 4.000 Ω 〜40.00 MΩ
絕緣電阻測量: 1.000 kΩ 〜100.0 GΩ
低電壓絕緣電阻測量: 1.000 MΩ〜 100.0 GΩ
交流定電壓靜電容量測量: 100.0 fF〜10.00 μF
洩漏電流測量: 1.000 μA〜100.0 mA
高電壓電阻測量: 1.000 kΩ 〜100.0 GΩ
電容絕緣測量: 1.000 kΩ〜250.0 MΩ
開路測量: 4.000 Ω 〜4.000 MΩ
LSI 連接檢查: 0.000 V〜12.00 V
交流額定電壓電阻測量: 10.00 Ω 〜100.00 kΩ
交流額定電壓靜電容量測量: 10.00 pF 〜100.0 μF
交流額定電壓電感測量: 1.000 μH 〜1.000 mH
判斷範圍 -99.9%〜+999.9%, 或絕對值
最小解析度 XY:0.1 μm / 
最小Pad Pitch 上面:34um(CP1075-09 使用時)
下面:44um(CP1075-09 使用時)
最小Pad Size 上面: 4um(CP1075-09 使用時)
下面:14um(CP1075-09 使用時)
測量速度 Max. 100 points/s (0.15 mm移動・4臂同時探測, 容量測量時)
可檢查的電路板種類 厚度: 1 〜12 mm, 外形: 50W × 50D 〜340W × 340D mm
可檢查最大區域 340W × 340D mm
電路板固定裝置 通用電路板固定治具 或是 靜電容量測量用真空吸附板(選件)
使用氣壓

一次側壓力0.5MPa ~ 0.99MPa(乾燥氣壓)

最大消耗量0.3L/min (ANR)

電源 AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V 單相 ( 下單時指定) 50/60 Hz, 5 kVA
尺寸・重量 1355W × 1190H × 1265D mm (不含突起物), 1100 kg±50 kg

點擊下方選框選擇分類,會顯示該選件的選項。

選件

應用軟體

產品型錄

飛針測試機系列-產品型錄 2024.03更新 pdf(18.09M) file_download
系統測試系列型錄 2024.03更新 pdf(16.75M) file_download
項目 分類 版本 公開日期

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