飛針測試機 FA1815-20

高效率與信賴性提升將電路板生產提升到下個等級

最快100 points/sec的高速檢查與取樣精度提升
對被測物負擔減輕的10 V/100 GΩ低電壓絕緣電阻測量
最適合探針板用電路板檢查

飛針測試機FA1815-20 產品介紹

FA1815-20是一款用於檢測高密度基板，適用於最先進的IT技術的飛行探針測試儀。它具有最快每秒100個點的檢測速度，高精度的探針位置，以及能夠在10V電壓下檢測100GΩ的高絕緣電阻。該測試儀配備了探針卡等高密度基板的檢測，可縮短檢測時間並排除潛在缺陷，實現高品質，為半導體行業的生產效率提升做出貢獻。

檢查時間縮短30%

採用可縮短探測精度與檢查時間的新式檢查順序計算方法，與過往機種縮短30%檢查時間。

實現高信賴性的探測精度

電路板的高密度化正在進行中，需要確保更緊密的接觸間距。FA1815-20通過反饋控制的改進和剛性的重新設計，實現了更高的探針精度。

CP1072-36開爾文探針使用時（TOP面）
　最小間距：85 μm
　最小Pad：55 μm

CP1075-09單探針使用時（TOP面）
　最小間距：34 μm
　最小Pad：4 μm

10 V 最大100GΩ的絕緣檢查

搭載新開發的微小電流檢測技術"PHA"。與舊型號相比，可以更快地檢測到微小電流，並且可以以最小100 pA（10 V / 100 GΩ）的高精度進行檢測。即使在需要高密度探針卡的最先進的半導體晶圓檢查中，也可以輕鬆檢測高絕緣電阻，而不會受到任何壓力。

最適合探針板用電路板檢查

最多可進行400萬步的檢查數據，即使在大型微細加工電路板上，也不需要進行設置或數據切換。同時，通過將Y軸方向的最大檢查範圍設定為與X軸方向相同的340毫米，可以靈活應對接近圓形的多邊形大型電路板，並提供高精度的檢查。

FA1815-20

規格參數

手臂數	4 (上面 ×2, 下面 ×2)
可安裝探針	1172系列, CP1072系列,CP1073系列
檢查步驟數量	4,000,000步進
檢查項目・測量範圍 (零件內藏電路板檢查)	直流額定電流導通測量：	400.0 μΩ 〜1.000 kΩ
	直流額定電流電阻測量：	40.00 μΩ 〜400.0 kΩ
	直流額定電壓電阻測量：	4.000 Ω 〜40.00 MΩ
	絕緣電阻測量：	1.000 kΩ 〜100.0 GΩ
	低電壓絕緣電阻測量:	1.000 MΩ〜 100.0 GΩ
	交流定電壓靜電容量測量:	100.0 fF〜10.00 μF
	洩漏電流測量:	1.000 μA〜100.0 mA
	高電壓電阻測量：	1.000 kΩ 〜100.0 GΩ
	電容絕緣測量：	1.000 kΩ〜250.0 MΩ
	開路測量：	4.000 Ω 〜4.000 MΩ
	LSI 連接檢查：	0.000 V〜12.00 V
	交流額定電壓電阻測量：	10.00 Ω 〜100.00 kΩ
	交流額定電壓靜電容量測量：	10.00 pF 〜100.0 μF
	交流額定電壓電感測量：	1.000 μH 〜1.000 mH
判斷範圍	-99.9%〜+999.9%, 或絕對值
最小解析度	XY：0.1 μm /
最小Pad Pitch	上面：34um（CP1075-09 使用時）下面：44um（CP1075-09 使用時）
最小Pad Size	上面： 4um（CP1075-09 使用時）下面：14um（CP1075-09 使用時）
測量速度	Max. 100 points/s (0.15 mm移動・4臂同時探測, 容量測量時)
可檢查的電路板種類	厚度: 1 〜12 mm, 外形: 50W × 50D 〜340W × 340D mm
可檢查最大區域	340W × 340D mm
電路板固定裝置	通用電路板固定治具或是靜電容量測量用真空吸附板(選件)
使用氣壓	一次側壓力0.5MPa ～ 0.99MPa(乾燥氣壓) 最大消耗量0.3L/min (ANR)
電源	AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V 單相 ( 下單時指定) 50/60 Hz, 5 kVA
尺寸・重量	1355W × 1190H × 1265D mm (不含突起物), 1100 kg±50 kg