飛針測試機 FA1823

最先進IC封裝基板的微小基板以四端子探針確實檢查

φ19 µm 基板的高精度取樣
業界唯一能對應微小基板的四端子電阻測量
提升探針交換的維護作業效率

產品概要

飛針測試機 FA1823能夠高精度檢測直徑僅φ19 µm的極細小基板，實現業界唯一本尺寸的4端子低電阻測量(開爾文測量)。

解決開發、品質管理、製造現場等面臨的課題，並大幅提升IC封裝基板的產品檢查良率與助於長期品質的提升。

FA1823

規格參數

手臂數	4 (上面 ×2, 下面 ×2)
可安裝探針	1172系列, CP1072系列,CP1073系列
檢查步驟數量	999,999步進
檢查項目・測量範圍 (零件內藏電路板檢查)	直流額定電流導通測量：	400.0 mΩ〜1.000 kΩ
	直流額定電流電阻測量：	40.00 µΩ〜400.0 kΩ
	直流額定電壓電阻測量：	4.000 Ω〜40.00 MΩ
	絕緣電阻測量：	1.000 kΩ〜100.0 GΩ
	低電壓絕緣電阻測量:	1.000 MΩ〜100.0 GΩ
	交流定電壓靜電容量測量:	100.0 fF〜10.00 µF
	洩漏電流測量:	1.000 µA〜10.00 mA
	高電壓電阻測量：	1.000 kΩ〜100.0 GΩ
	電容絕緣測量：	1.000 kΩ〜10.00 MΩ
	開路測量：	4.000 Ω〜4.000 MΩ
	短路測量：	400.0 mΩ〜40.00 kΩ
	LSI 連接檢查：	0.000 V〜12.00 V
	交流額定電壓電阻測量：	10.00 Ω 〜100.0 kΩ
	交流額定電壓靜電容量測量：	1.000 µH〜1.000 mH
	交流額定電壓電感測量：	1.000 μH 〜1.000 mH
判斷範圍	-99.9%〜+999.9%, 或絕對值
移動最小解析度	XYZ：0.1 μm
最小Pad Pitch	24 µm（CP1073-01 使用時、上面・下面）
最小Pad Size	1 µm（CP1075-09 使用時、上面・下面）
測量速度	Max. 76 points/s(0.15 mm移動・4臂同時探測, 容量測量時)
可檢查的電路板種類	厚度: 0.5〜7.0 mm, 外形:50W × 50D〜280W × 260D mm
可檢查最大區域	280W × 260D mm
電路板固定裝置	基板兩邊固定方式
使用氣壓	一次側壓力0.5MPa ～ 0.99MPa(乾燥氣壓) 最大消耗量10L/min (ANR)
電源	AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V 單相 ( 下單時指定) 50/60 Hz, 5 kVA
尺寸・重量	1355W × 1200H × 1265D mm (不含突起物), 1600 kg