可高速且彈性地進行檢查的系統

半導體檢查不可或缺的探針卡、IC測試座

在半導體製造工程中，有確保品質的電氣檢查工程。在這個檢查工程中使用的電極接觸治具有探針卡和IC測試座。在晶圓級(前工程)檢查中使用的是探針卡，封裝後(後工程)檢查所使用的是IC測試座。這些由複數的接觸針所構成，只要有 1針在接觸可靠性上有缺陷便無法進行正常的檢查，因此需要做探針卡、IC測試座的確認檢查。

本文將介紹為了確保探針卡和IC測試座品質，可高速且確實進行檢查的系統。 

檢查的課題

如果半導體測試是24小時運作的話，必須暫時停止一般檢查，如果有不會使用的時間的話，則必須在該時間帶內安裝探針卡、IC測試座進行檢查。
不能垂直啟動會影響生產。因此必須在出貨檢查時確實排除異常狀態。另一方面，如果因為上述對策而增加出貨檢查的作業，那麼成本將會增加，導致不合算。目前有以下的課題。

• 出貨時的調整確認需要許多時間
• 因為粗心的錯誤導致未發現不良
• 因個體作業導致作業時間增加
• 長時間作業對作業人員造成的負擔

 

實現高速檢查和高維護性

短路・開路測試機FA1221、電性測試機FA1220的電路開關（掃描儀）和電阻計都內置在一個輕巧機身中，並根據電腦軟體創建的檢查順序進行操作。
可以透過搭載的I/O板和外部驅動裝置連動。透過在Z軸方向稍微移動工件進行檢查，可以自動檢查接觸高度位置和接觸電阻值。

• 由於內置掃描儀/測量板會同步優化，因此可實現高速檢測。
• 透過I/O板（選件）和外部驅動裝置連動(關於自動化對應，請另外洽詢)
• 透過應用軟體操作，可製作短時間並可能的檢查數據

半導體越發活躍於IoT或AI等新IT技術上。可想見，今後關於兼顧品質提升和縮短檢查停機時間的生產現場課題也會增加。短路・開路測試機 FA1221、電性測試機FA1220具備了對應這些現場課題的潛力。

無需測試治具的飛針型檢查裝置

此處介紹的FA1221, FA1220 是使用帶有探針的測試治具來檢查探針卡和 IC 測試座。但測試治具方式有以下的問題。

探針卡的檢查點極度接近時，探針間距可能太近，導致測試治具探針可能無法站立。因為必須為每個探針卡準備測試治具，因此會增加運行成本。

像這樣的時候，就可以評估看看飛針型的檢查裝置。

 

記載內容為2020年9月的資訊。產品參數可能會有更改，請以現在發行的為準。

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